离子减薄原理:和合法事成功的原理

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离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器和合法事成功的原理。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以 最 小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

原理：

在高真空中，两个相对的冷阴极离子枪,提供高能量的氩离子流,以一定角度对旋转的样品的两面进行轰击和合法事成功的原理。

当轰击能量大于样品材料表层原子的结合能时,样品表层原子受到氩离子击发而溅射、经较长时间的连续轰击、溅射,最终样品中心部分穿孔和合法事成功的原理。

穿孔后的样品在孔的边缘处极薄,对电子束是透明的,就成为薄膜样品和合法事成功的原理。

离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器（透射电镜样品为厚度为几微米，直径为三毫米的薄片）和合法事成功的原理。为了使设备工作条件得到满足。需要预处理扫描电镜样品，首先将样品切割成一毫米厚的薄片，再使用砂纸打磨样品，在打磨样品表面的时候，需要从粗到细地对砂纸进行选择。

透射电镜样品具有非常小的尺寸，需要在载片中间的小孔上粘样品和合法事成功的原理。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了使效率提高，样品一次能够多放几个，在样品台上用热熔胶固定，之后所要做的工作就是对包括电压、氩离子流，样品倾角、抛光时间等工作参数进行调整。工作电压和氩离子流的增加能够使抛光效率有所提高，然而若这两个参数过高，容易损伤样

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